要集中在213nm波段及266nm波段，不足以制造精密的光刻机。
但拥有系统这个bug存在啊，去年他派人沟通交流过，对方拒绝了收购要求，于是退而求其次，挖走不少核心工程师，引来科隆虹源的老板直骂娘。
不管怎么说，euv光源问题算是初步解决了。
第二点、高精度弧形反射镜系统，由弯曲的镜面、支撑结构和调整机构组成，燕城有一家九鼎的光学公司，积累了十多年经验，在周啸羽的说服下，成为山海微电旗下的全资子公司。
接收完所有技术文档，陈河宇加以提纯优化，水平并不输于漂亮国的zygo和corning光学巨头。
第三点、超高精度真空双工件台，是一种用于在真空环境中进行高精度加工和测量的装置。
通常由两个工件台和一个真空室组成，在真空状态下对硅晶圆进行精密的定位、加工和测量。
杭城一家公司具备良好的技术底蕴，在陈河宇抛出橄榄枝后，立马响应，加入了山海微电的怀抱。
毕竟，这可是华国半导体行业的领头羊，年营收高达2000多亿华币，有山海微电的资金加持，华风科技才能走得更远，所以没有多加犹豫，便在周啸羽的钞票攻势下，顷刻间瓦解。
原有的高精真空双工件台解决方案，在陈河宇的推动下，也开始向世界一流水平迈进。
换言之，山海微电具备制造euv光刻机的理论实力，只是没有付诸实践。
想到这里，陈河宇交代何婷波，先用子公司的名义，悄悄采购光刻机所需的各种零部件和材料，和购买机械加工设备。
nxt 1950i duv光刻机至少还能服役两到三年，在7纳米芯片到来时，他若是还不能制造出euv光刻机，就得面临技术全面落后的境遇。
拿duv光刻机和湾积电的euv光刻机拼？没有赢的可能性。
“乖，先下来，我还有工作要忙。”
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